结构因子的大小与点阵类型有关，还与原子种类、原子位置和数目有关。结构因子是指定量表征原子排布以及原子种类对衍射强度影响规律的参数，即晶体结构对衍射强度的影响因子。衍射强度中与晶体结构多个变量相关的一种复合因子。设晶胞中有N个原子，每个j原子相应的原子散射因子为fj，j原子的分数坐标为xj、yj、zj，衍射指标为h、k、l。结构因子是晶胞散射X射线能力的一个量度，它是一个复函数量。一个晶胞所有原子的相干散射波振幅与一个电子的相干散射波振幅之比。